ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 實現了傳統(tǒng)薄膜沉積方法無法實現的光學特性?？梢孕纬?D膠片，相機鏡頭上的AR膠片可以創(chuàng)造出沒有重影和眩光的清晰圖像。

特征
可見光范圍內小于0.1%的超低反射鍍膜
在具有陡峭三維結構的表面上進行保形沉積
大曲率透鏡兩側的廣入射角增透膜
低溫等離子在塑料鏡片上成膜
通過同時沉積 40 個 φ350 晶圓實現高生產率
實現逼真清晰的圖像，沒有重影和眩光
規(guī)格
真空室 W900mm x D900mm x H1150mm
沉積箱 W374mm x D700mm x H800mm
轉板架 φ350支架×40步，30rpm
等離子源 ICP（電感耦合等離子體）
前體來源 前體容器、ALD 閥、前體（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排氣系統(tǒng) 干泵
性能
極限壓力 真空室：小于7Pa
排氣時間 真空室：30分鐘（大氣壓至10Pa）
沉積溫度 最高130℃